西蓉北郊。

西南特种电气工业公司。

虽然六月末的西蓉，天气十分酷热。

但为了热烈欢迎，远道而来的樱花半导体考察团。

身为公司总经理的汪学斌。

还是无惧炎热，带着公司高层，在办公楼前列队等候。

之所以如此热忱。

当然因为他对这一次的合作交流，抱有非常大的期望。

公司虽然从事工业气体研制生产很多年。

但过去市场需求有限、销售业绩不高，也不太可能下大力气进行相关技术研究。

谁也没想到……

这两年龙国的制造业，像是坐上了火箭似的，增长势头无比迅猛。

金属冶炼、石油化工、机械制造、食品加工、电子及半导体、医疗器械……

因为工业生产中不少环节，是不能直接暴露于空气之中，需要特殊气体参与反应。

所以制造业越发达，对工业气体的需求量就越大。

如果只是需要常见的氦气、氮气、氧气、二氧化碳等等这些。

汪学斌还不至于那么头疼。

毕竟这些常用工业气体的加工制备，技术工艺早就相对成熟。

可问题是……

龙国的电子信息产业，发展速度太迅猛了。

为了追求高精度、高质量、高性能，电子信息产业，对工业气体不仅需求量很大，要求还很高。

哪怕只是生产液晶显示面板所需要的氮气、氦气、氧气和氢气，纯度都要比食品工厂的高很多。

于是乎。

有关部门就将工业气体，分成了大宗气体和特种气体这两大类。

将用于满足冶金、化工、机械制造等普通工业生产的大宗气体研制任务，从公司剥离了出去。

让公司专门负责，研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。

这个任务，真是光荣又艰巨啊！

光荣在于研制特种气体，有力支撑龙国的高端制造业发展，是利国利民的一件大好事。

艰巨在于特种气体，是真不好研制。

就拿生产芯片来说。

从最开始制造硅片，将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆，就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。

而开始进行光刻加工的时候，需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。

刻蚀清洗，除了常用的几种特种气体，还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。

离子注入的时候，又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。

掺杂之时要乙硼烷、砷化氢，以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。

除此之外，还有很多工艺环节，都还需要相应的特种气体。

林林总总加一起。

要想生产高性能的合格芯片，竟然需要一百多种特种气体。

需要的特种气体种类多，都还不算什么难事。

真正让人头疼的，是这些特种气体的纯度要求太高了。

用于普通工业生产的大宗气体，纯度只要达到了99.99%，就已经很不错了。

而用于电子科技产品的呢？

哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管，纯度都要百分之九十九点九九九。

而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片，需要的纯度，必须高于百分之九十九点九九九九。

特种气体的纯度越高，越有利于芯片加工生产，可以大大提高芯片的良品率。

可是纯度已经很高的气体，再想进一步的提纯，难度实在是太大了。

就像一张满分是一百的试卷。

从六十分及格，努力学习考到九十分并不难，因为提升空间很大。

再努努力，从九十分提升到九十五分，也并非不可能。

但九十五分以上，想一题不错的考个满分，就真是太难了。

什么电解法、化学法、吸附法、精馏法等等，各种方式方法看似不少。

但不同的方法，需要不同的设备和工艺，里面的门道实在是太多了。

就像同样是电解法，需要的直流电应该多大电流？多高电压？作用多长时间才能确保氧化还原最佳？

而用化学法提纯六氟化钨、三氯氢硅等，又需要用什么样的催化剂、在怎样的容器中进行反应？

而且吸附法制备六氟丁二烯、高纯砷烷等气体，吸附装置、吸附材料、吹扫设备等等，也需要很考验技术功底。

至于膜分离、气体分离、冷冻分离、催化分离等等手段，对没从事过相关研究的人来说，那就更是难以想象的困难了。

然而……

如何提纯获得超高纯度的特种气体，就已经技术门槛很高，需要耗时多年进行潜心研究、不断改进。

而除了制取难、提纯难之外，特种气体的存储与运输，也是一大难题。

用于存储运输的钢瓶，不仅要承受足够的压强、经得起腐蚀、扛得住温差，关键还是要足够的干净。

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